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電子半導體噴涂廢氣的處理流程是什么

時間 : 2021-10-22 11:12:11 閱讀 : 295
電子半導體生產車間的噴涂過程會產生廢氣,也稱為電子噴涂廢氣。噴涂廢氣主要由甲苯、二甲苯和其他有機廢氣組成。噴涂廢氣揮發后形成揮發性有機化合物,產生光化學反應形成煙霧,破壞臭氧層,對人體和大氣造成危害。因此,電子噴霧廢氣處理是環境評價要求的重點,也是電子半導體企業必須達到排放標準的廢氣處理要求。  噴涂廢氣治理方法  為了有效處理噴霧廢氣,采用了各種物理、化學和生物處理方法對其進行處理。目前,根據不同的廢氣處理形式。處置技術可分為銷毀法和回收法。銷毀方法是指將有機廢氣完全轉化為對環境無害的物質,如CO2和H2O。大多數常見方法是燃燒法和生物法。回收方法是指通過改變環境條件或采用一定的分離方法來分離有機廢氣。有機廢氣z終“變得有價值”。經過處理后,它作為溶劑再次進入噴涂系統,以便重新使用。常用的處理方法描述如下。  
2.1燃燒法
燃燒法是指在某些催化劑或其他條件下,通過一系列化學變化,將廢氣中的可燃物質分解成對環境無害或可回收的物質。這種方法操作簡單。常用用于處理高濃度廢氣。燃燒廢氣中的大多數物質可以高效處理,但這種方法通常需要使用某種催化劑。催化劑中毒經常發生。  
2.2生物法
生物凈化方法通常使用微生物降解有機廢物并使其成為對環境無害的物質。這種方法是借用微生物處理污水。只要條件合適,無處不在的微生物幾乎可以分解所有的有機和無機物質,因此生物凈化方法被廣泛應用于污染物的處理。然而,由于微生物代謝緩慢和環境條件惡劣,處理過程耗時太長,成本相對較高。  
2.3吸附法
吸附方法包括化學吸附法和物理吸附法。化學吸附法(Chemical adsorption method)是指吸附劑通過化學鍵與被吸附物質結合連接,從而通過吸附劑吸附污染物中的一部分人體物質。物理吸附法是指吸附劑和被吸附物質通過分子間力的結合。雙方的財產沒有改變。在這個過程中沒有化學反應。在揮發性有機化合物的處理中,吸附是應用z廣泛的處理技術。大多數常見吸附劑是活性炭。然而,在工廠目前使用的活性炭吸附工藝中,沒有回收工藝。活性炭不能回收。因此,工藝成本相對較高。它不符合連續發展的概念。本文綜合了傳統有機廢氣處理方法的優缺點,綜合比較了分析幾種經典處理方法的優缺點。另外,根據某電子公司的設備、生產條件和工藝,結合噴涂過程中產生的廢氣濃度低、風量大的特點,科學合理地設計了一套綜合治理工程:吸附處理、解吸、再生、燃燒和釋放。通過圖1所示的工藝流程圖對    
3噴涂廢氣治理工程    
3.1治理工程概述

由于電子產品噴涂過程結束后產生的有機廢氣與細顆粒和一部分漆霧混合,如果這些細顆粒和漆霧與有機廢氣一起進入活性炭吸附室,有機廢氣降低活性炭吸附的活性部位和降低的吸附效率將大大提高,因此廢氣進入吸附室之前,需要進入霧化洗滌塔。通過洗滌,細顆粒和油霧將被去除。因此,噴射廢氣需要經過圖1中的處理過程。

  
3.2治理工程工藝介紹
噴涂過程中產生的廢氣進行綜合處理。具體而言,噴射的廢物 先通過霧化洗滌塔。霧化洗滌塔由多層多孔纖維層組成,并且從 層開始,每單位面積每層中的孔數量變大。當廢氣通過洗滌器時,廢氣中的細顆粒、漆霧和少量有機物不斷與微孔碰撞并結合,細顆粒不斷細化并逐層連續附著,z終全部結合。

噴涂廢氣處理工藝和方法的選擇,應結合電子半導體企業的實際生產需要,制定切實可行的噴涂廢氣處理方案。電子半導體行業產生的廢氣處理方法也在不斷更新,實現噴射廢氣處理零排放的進程也將在未來得到推進。

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標題:電子半導體噴涂廢氣的處理流程是什么
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